自動測定 (自動パラメータ)                           2025.8.3

 

 自動測定では、パラメータの調整が分かりずらく、調整項目が分かっていても、変えてみないと分からず
  (変えてみても分からない?)使いにく状態でした。 改善したかどうかも、よくわからない?

 今回の方式は、パラメータで計算可能なものは全て、内部で決める方針としました。
 調整項目が大幅に減少しましたが、実際の測定によっては、プログラムの調整(変更)が必要になると思います。
 これが上手く行けば、使用者は余計な気を使わず、磨きに集中できると思います。

  測定の方式は、Yの変化と輝度(R-L)の変化がほぼ直線的になる性質を使い、計算で移動距離を求める方式です。
 短時間での測定を狙ったものです。

 

@  パラメータ自動が これを使用する為のチェックです。

 

A チェックを入れると この方式で不要なパラメータの表示が消えます。  気にする必要がないんです。

 


 

B 移動量の番号が No.3 に変わります。

   テストモードでは移動回数が減ったので、その分を精度向上に当てました。 実際はどうなりますか。

 

-----------------------------------------------------------------------------------------------------


  使い方

  @ 準備として ステージ移動量 の No.3 を変えます。 10μm以下にするので No.3 をこれ専用にします。
      
     Yの部分を変えます。数値変更の後に 「変更」をクリックします。

           最初Yの移動量を 10/40/90 とかしていたら 2回の移動でOKになりました。  輝度の誤差2程度。
     Yの移動量を 2/20/40 にすると 3回か4回の移動で 輝度の誤差1以下になりました。テストモードではありますが。

           いきなり2μmにせずに、最初は No.4(10/40/90) と同じでもOKです。
     
     実際の測定ではどうなりますか・・・・・。
     2μmで収束すれば、測定精度10um をクリアしたことになるのでは? と思います。

           パラメータ自動のチェックを入れます。

           移動量の最小の値が、測定の誤差に直接影響します。 これを大きくすれば、測定回数か少なくなり、精度が悪くなります。
  
     状況に応じた値にすることが良いと思います.

  A 設定する項目がほとんどありません。

     サンプリング数は、残っています。

           パラメータ追加しました。 移動量%です。 1回目の移動で全体のどれだけ移動するかの%を指定します。
     ・100% の場合は、前のゾーンの傾きを使用して、いきなり輝度差0目指して移動します。
      これが何処まで、ゼロに近づくが分かりません。
     ・50% の場合は、 半分移動し そこで正確な傾きを求め、2回目で輝度差0目指して移動します。
     ・何パーセントが最適なのか 実際に動かして見なければ予想がつきません。 もしかすると 90%辺りが最適
      なのかもしれません。1発(1回)で決まるのか? 2回の場合は、どれが一番正確になるか?     

  A 起動方法
      
     ・ これまでと同じで 「自動」 をクリックします。 中断や、再開、測定停止の操作は今までと変わりません。

   

  測定終了後

    パラメータ自動のチェックを外す赤枠の項目は変更されています。
        又 今までの自動測定の使い方で  「X調整」 をクリックすれば、3項目は、自動で調整されます。

 

 

 収束しない場合

   2つ方法があります
  
  @ qcamft.ini 変更

  許容誤差Yも内部で計算により決めています。 Yの最短移動の距離が小さい場合は、許容誤差Yが現実に合わない
     小さな値になります。  これをそのまま使用すると収束しない場合が有りうると思い、誤差範囲Yの最低値を内部的に設定
  しています。
    収束しない場合(最小の移動を前後に繰り返す)は、qcamft.ini の1行目の変更(値を大きく) して下さい。

     ykidoermin,0,1.6,最低許容誤差Y     旧

     ykidoermin,0,2.5,最低許容誤差Y     新  

     これは 1.6 の値を 2.5に変更した例です。

  A  最小の移動量(距離) を小さくする
 
       1/5/11/4/15/30/

       1/5/11//15/30/

  
注意点

 ・開始時の輝度を目標輝度にするので Xをずらしているとその時に輝度が目標輝度になります。
 ・ゾーンが変った時に、輝度(R-L)が下がりますが、これが飽和した値では、本方式は測定できません。
  コントラストを変えるか、測定ソーンの刻みを小さくして飽和しない様にして下さい。

方式
  事前測定の表示が最初にでます。 ステージを動かして パラメータの作成をしています。
  自動測定では
   そのゾーンの1回目の移動で、輝度差のどれだけ移動させるか指定できます。これで輝度とYの変化率が正確に求まります。
  2回目はこれを使い、輝度0のなる移動距離を計算で求め、移動します。
  これで誤差範囲Yにならなかった場合は、従来の方法でYを動かします。

qcamft.ini にある定数

 主にパラメータ自動に関係する定数が、 qcamft.ini の中に存在します。 主に頻繁に変更しなくても良いと思われるデータです。
 環境(ステージの精度、光源の明るさ、光源スリット幅、カメラの機種による違い、ステージと光軸のズレ)や、測定者の慣れと
 理解により変更が必要な場合もあり得るので、説明しておきます。 

 変更する場合は、十分注意して変更して下さい。
 変更により事態が悪化する場合を考えて、変更前にqcamft.inを別な場所に保存しておくことをお勧めします。
  又qcamft-IIを終了させた状態で、修正して下さい。 動作中に修正すると変更が無効になったり、qcamft.ini
 全体を失う場合があります。 これは実際に起きています!


[******* パラメータ自動関連 *****],0,,
ykidoermin,0,1.6,最低許容誤差Y
xermin,3,,最低許容誤差X
kidol,-15,, 前進する下限輝度
kidob,-45,, 後退輝度
fstp,0,50,*** autopatam 最初の移動% フォームで変更する***
XlimYk,6,, X制御最低Y輝度

 (注) これは先頭の7行のみです。 全体は100行を超えます。

 
項番 シンボル    データ名 デフォルト値      意味等      
ykidoermin 最低許容誤差Y  1.6  許容誤差Yを計算で求めた後、左の数値より小さい場合は、これに置き換える。
Yが収束しない(最小の移動を繰り返す)場合この値を大きくすれば、改善する場合がある。
         
xermin 最低許容誤差X  
  2
 許容誤差Xを実測後計算で求めた後、左の数値より小さい場合は、これに置き換える。
Xの移動が多すぎる場合に、大きくすることにより改善する場合がある。
 
kidol 下限輝度  -15 そのゾーンの初期状態の輝度(L-R)がこの数値より(絶対値が)大きい場合、は、その位置から
Yを前進して測定する。小さい場合は、一旦大きく後退して次の移動で、輝度(L-R)がゼロを狙う。
 
kido 後退輝度  -45 項番3で大きく後退する場合に、移動する位置をおよその輝度で指定する。
(絶対値が)小さすぎると、計算精度が悪くなる。
大きすぎると移動が時間がかかり、測定時間が長くなる。
又輝度(L-R)が飽和したり、直線性(輝度と移動距離)が悪くなるまで後退すると、全く測定が
出来なくなる。

項番3より(絶位置)が大きくする必要がある。
 
XlimYk X制御最低Y輝度   6 Xの無駄な動きを抑制する為、輝度(R-L) がこれ未満の場合のみX制御を行う。  
         

 

戻る