バックラッシュ対策について　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２０２５．８．2７

送りねじのバックラッシュの補正量の調整について説明します。

QCAMFTでは、XYステージの送りねじの遊び（バックラシュ）の影響を無くす為に、一方向からの位置決めをしています。
前後の動きでは、後退する場合は一度大きく後退させて、から前進させることで、バックラッシュの影響を排除しています。
この大きく下げる距離が不足すると、正確に位置決めができません。　ここではその距離の求め方を説明します。

　輝度の変化からバックラッシュの補正量が適切かが判定出来ます。



�@　　まずフーコー画像を出してくっきりハッキリ映る様にします。　ハイコントラストにした方が輝度の変化が判別できて良いです。
　　　左右のゾーン輝度がなるべく同じになる様に調整します。　　赤枠の　-0.2　の　所　がゼロ近くになる様に。

　　　原点をリセットします。

�A　右側の　「一方向からの位置決（バックラシュ対策）」　のチェックを外します。
　　　「６項目変更」をクリックします。　

�B　　Yの調整

　　　Yの座標がゼロになっている事を確認します。
　　　まず十分後退させます。　０．５ｍｍぐらい。90μmを５回連続でもOKです。　
　　　同じ距離前進して、Yの座標をゼロにします。　　輝度を確認します。（上の例で　-0.2　の部分。）
　　　Yを後退させます。　輝度を確認しながら少しづつ。　１０μm程度が良いでしょう。
　　　最初は輝度に変化が無いでしょう。　バックラシュがあるからです。
　　　ある所から輝度が変化します。　バクラシュ以上の距離移動した為です。　その時の　Y座標をメモします。

�C　　Xの調整

　　　Yと同様です。輝度は左右の　「平均輝度−目標輝度」　に着目します。　　上の＋１．1の部分の値です。

　　　大きく動かす方向は　
　　　「左移動時に対策」にチェックしていれば、左に、　
　　　「右移動時に対策」にチェックが無ければ、右にします。

�D　　値変更

　　　　�B、�C　の結果を　設定します。　少し（１０μmか15μｍ）多めにします。　
　　　　設定場所は　　右上赤枠の　「戻し量μｍ」　の所。
　　　　「一方向からの位置決（バックラシュ対策）」　のチェックを入れます。
　　　　「６項目変更をクリック」　します。

�E　　確認

　　　　バクラシュの補正量が適切の場合　方向によらず同じ輝度が変化します。
　　　　Yを少し（１umでも）前後させても同じ輝度の変化があればOKです。
　　　　Xを少し（１μｍでも）だけ左右に以後動かしても、同じ輝度の変化があればOKです。
　　　 　　　

注意
　　送りねじ、ナットが汚れている場合は、計る場所でバックラシュのが値が異なり安定しないと思います。
　　ほこりにまみれた送りねじは、正確な位置決めが出来ないと思います。　構造上汚れやすい場合は、
　　送りねじカバー等の対策が必要かもしれません。　XYステージ本体の保管も埃を遮断するような容器が必要と思います。
　　又送りねじにグリスを塗った場合は、経年変化で硬くなり位置決めに影響が出ると思います。
　　昔ずん切りのM3ねじを（東急ハンズで）購入した時、価格シールを剥がしたところシールの接着材の粘りが残り、そこ
　　にナットが来るとナットがスムースに回らなかった（粘ったような感覚）ことがありました。溶剤で拭いても、粘りは取れません
　　でした。このような場合は、おそらく位置決めに誤差があったと思います。

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