移動ログの見方                          2026.6.12


 

メインフォームの最下段に、XYステージの動きを表示している。

 

見方

 ♦ から ♦ が同じゾーン内の動きを記載している。
 →← は左右の動き
↑↓ は前後の動き

 数字の見方は、XとYでは意味が異なる。
↑90-136 を例にすると  左右ゾーン位置の輝度の差(右−左)が -136 であった。 90µm前に前進した。(+の場合は、後退。)
→4+9  を例にすると  左右ゾーンの輝度平均 ― 目標輝度の値が +9 であった。 4µm右に移動した。(−の場合は、左に移動) 
   

11行あり画面サイズによっては、11行全て見ることが出来ない場合があるが、同じ内容が自動測定ログファイルの最後に出力される。

 

 

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