移動ログの見方 2026.6.12
メインフォームの最下段に、XYステージの動きを表示している。
見方
♦ から ♦ が同じゾーン内の動きを記載している。
→← は左右の動き
↑↓ は前後の動き
数字の見方は、XとYでは意味が異なる。
↑90-136 を例にすると 左右ゾーン位置の輝度の差(右−左)が -136 であった。 90µm前に前進した。(+の場合は、後退。)
→4+9 を例にすると 左右ゾーンの輝度平均 ― 目標輝度の値が +9 であった。 4µm右に移動した。(−の場合は、左に移動)
11行あり画面サイズによっては、11行全て見ることが出来ない場合があるが、同じ内容が自動測定ログファイルの最後に出力される。