X制御方法 2025.1.16
X制御の方法とその為のパラメータについて説明します。
まずY軸と光軸を合せるのが必要(前提)です。 これが大きくズレていると、X制御でも制御出来ない恐れがあります。
これをピタリ合せれば、測定中のX制御なしで 測定が可能になるかもしれません。
この操作で、合せきれなかったズレを、X制御で補正します。
X制御は、Y軸 と違い、計算一発(1回の移動)で行います。
上手く調整すれば、1回の移動で目標輝度になる(なったらいいな)のが狙いです。
Xの移動距離と、輝度変化は比例するという考えです。
その為に、実際にフーコー画像でXYステージを動かして、パラメータを求めます。
パラメータは、2個あります。
下記の例でパラメータを説明すると、Xを5μm 動かすと、輝度が14変化するという意味です。
実際の制御では、この例で輝度が KK ずれた場合動かす距離XXは
XX = 5 x KK / 14
となります。
例えば
輝度10ズレたら 3.6μm 動かす。
輝度28ズレたら 10μm 動かす。
といった具合です。
1. まずNo.1 (たぶんどのゾーンでも良い?) ゾーンで、左右の輝度を合せます。
ここでX,Y座標をリセット。
2. X方向に5μm移動します。 この時左右の輝度の変化を見ます。
5µm、10µm、15µm、20µm と 5µm単位が移動の誤差が無いのでお勧めです。
標準モーターなら5µm では、4ステップで計算誤差なしです。
この時の輝度の変化をパラメータの値にします。 「X制御輝度」は、符号なしの値を入れます。
3. 実際に 手動でX補正ができるか試して見ます。
Xを動かして輝度差が生じさせ、 X補正を操作します。 「XYステージフォーム」 なら 「X補正」 ボタンをクリック。
ショートカットキー(初期設定)ならEndキーです。 実際の手動測定でも、この操作で補正します。
これで目標輝度に変化して、輝度差がほぼゼロになれば、パラメータの設定は、OKです。
Xの移動距離を色々試して、どれも輝度差がほぼゼロになることを確認します。
4. 測定時のX補正の確認
自動測定
「X Over」 が表示されるとX補正が働き、輝度差がほぼ0になるのが理想、悪くてもX 許容誤差X内に入る必要があります。
受動測定
「 X Over」 が表示された場合、「X補正」 操作します。輝度差がほぼ0になるのが理想、悪くてもX 許容誤差X内に入る必要があります。
5. どうしても上手く補正出来ない場合。
自動測定
X制御を止める。 方法は、パラメータの許容誤差Xにありえない大きな数を入れる。 例えば、300とか。 これならX補正の条件に
ならないのでX方向には動きません。
手動測定
「X補正」ボタンではなく、Xの移動を行います。 輝度差が0になるように。